事例紹介

マザーボードのロボット CT ラミノグラフィ

Fabian Rückert

Fabian Rückert

- 最終更新日: 2025年3月3日

マザーボード全体を 30 µm の解像度で撮影した CT スキャンをご覧になったことはありますか?

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マザーボードの超高解像度 CT スキャン - ズームして細部をご覧ください。

マザーボード

Omni NDE によるロボットラミノグラフィ CT スキャン

X 線投影 17689 枚

解像度 30 µm

8672x928x8672 ボクセル

ラミノグラフィ軌道

マザーボードは非常に平らで薄いため、基板面に平行に進む X 線はマザーボードを透過できません。標準的な円軌道の CT スキャンでは十分なデータを取得できません。
しかしラミノグラフィ軌道を使えば、線源と検出器をマザーボード面に平行に動かすことで、大量のデータを取得できます。

金属アーチファクト

密度差の大きい材料は、業界標準の CT 再構成ソフトウェアにとって難しく、一般にビームハードニングや散乱によるアーチファクトが生じます。

幾何学的誤差

X 線源と検出器は 2 本のロボットアームに取り付けられていました。ロボットアームは、ラボ CT システムの十分に校正されたレールほどの精度はありません。こうした幾何学的誤差は、標準的な CT 再構成ソフトウェアで再構成すると、通常アーチファクトやぼけの原因になります。

マザーボードの写真

マザーボードの写真

ステップ 1:ロボット CT ラミノグラフィスキャン

Omni NDE の先進的なロボット CT システムでマザーボードをスキャンしました。線源と検出器の両方がロボットアームに取り付けられているため、アームをマザーボードと平行に動かして大量のデータ(17689 投影)を取得できました。

Omni NDE のロボット CT

Omni NDE のツインロボット CT

ロボット CT のスキャン工程

ステップ 2:Voxray による再構成

データは当社の Voxray QRT ソフトウェアで再構成しました。ソフトウェアならではの主要機能があったからこそ、優れた品質でデータを再構成できました。

  • 任意の CT スキャン軌道に対応 - 今回はラミノグラフィスキャン。
  • 自動ジオメトリ補正 - Voxray QRT ソフトウェアは投影ごとに幾何学的誤差を自動補正できるため、ロボットアームの動きによる不正確さは大きな問題になりません。
  • Voxray QRT アルゴリズムのより正確な物理モデルにより、アーチファクトはほとんどありません。

再構成ボリュームの水平スライス - ズームして細部をご覧ください。