CT 方法

什么是计算机分层成像(CL)?

计算机分层成像(CL)是一种面向平板零件和大型零件的 X 射线计算机断层扫描。它不是让零件绕垂直于射束的轴旋转,而是以倾斜角度扫描零件,因此 X 射线无需沿电路板或复合材料板的平面穿过。

CT 与分层成像对比

两者的区别在于旋转轴的倾斜:CT 中旋转轴垂直于射束,分层成像中则相对射束倾斜。

计算机断层扫描(CT)

X 射线源探测器旋转轴平板零件
零件绕垂直于射束的轴旋转 360°。对于平板零件,部分射线沿其平面穿过整个宽度。

计算机分层成像(CL)

X 射线源探测器旋转轴倾斜角平板零件
旋转轴从其在 CT 中的位置(点线)倾斜了一个倾斜角,因此每条射线都以一定角度斜穿平板零件。零件可以很宽,射线源也可以靠近以获得高放大倍数。

计算机分层成像的原理

在传统 CT 中,零件绕垂直于 X 射线束的轴旋转一周,探测器在每个角度记录一张投影。对于平板零件,沿其平面传播的射线要穿过整个宽度,几乎没有光子能够透过,这些投影带来的是噪声和条纹,而不是信息。宽大的零件还会让射线源无法靠近,从而限制放大倍数。

分层成像让扫描轴相对射束倾斜,或让射线源和探测器沿平行于零件的路径移动。这样每条射线都斜穿零件,只穿过其厚度方向。探测器从这些倾斜方向记录数百到数千张投影,再由重建算法计算出三维体数据。倾斜角表示旋转轴偏离常规 CT 中垂直于射束的位置的程度。倾斜角为 0° 时,扫描就是常规的圆轨迹 CT。

代价是没有任何射线沿零件平面传播。一个锥形的方向范围始终未被测量,因此体数据在零件平面内清晰,而在深度方向较模糊。缺失的锥形范围随倾斜角增大而张开:倾斜越大,深度方向越模糊。

何时更适合使用分层成像

  • 长宽比大的平板零件,例如印刷电路板、面板和晶圆。

  • 太大而无法在设备内旋转的零件,或在高放大倍数下会与射线源相撞的零件。

  • 大型零件中的感兴趣区域,例如整块电路板上的单个焊点或 CPU 插座。

  • 以零件平面为关键的层状结构:焊点、过孔、键合、胶层和复合材料铺层。

分层成像的扫描几何

不同设备以不同方式实现倾斜照射,每种方式对重建提出的要求也不同。

传统圆轨迹 CT

原理: 零件绕垂直于射束的轴旋转 360°。对于紧凑的零件,这能提供最完整的数据。

局限: 对于平板零件,沿平面的射线几乎无法穿透,而且零件尺寸限制了射线源能靠多近。

倾斜旋转轴

原理: 零件在旋转台上转动,旋转台的轴相对射束倾斜,通常最多约 30°。不少实验室 CT 设备都提供这种扫描模式。

局限: 倾斜角越大,深度方向丢失的信息越多。零件仍需放得进旋转台和设备舱内。

探测器平移与直线扫描

原理: 零件保持不动或沿直线移动,射线源和探测器平行于零件移动。适合电路板和面板的在线检测。

局限: 观测角度范围比完整旋转小,因此深度方向的分辨率进一步下降。

机器人分层成像

原理: 两台机械臂带动射线源和探测器沿自由路径绕固定的零件运动。不受设备舱尺寸限制,路径也可以贴合零件。

局限: 机械臂的定位精度不及实验室 CT 的导轨,几何误差会让传统重建变得模糊。

分层成像结果

使用 Voxray QRT 重建的分层成像扫描细节。

主板 CPU 插座的分层成像切片
主板上的 CPU 插座。
整流罩胶层的分层成像切片
火箭整流罩:两个部件之间的胶层。

Voxray QRT 如何重建分层成像数据

滤波反投影(FDK)是为圆轨迹扫描推导的。用于分层成像数据时,除了扫描几何本身带来的模糊之外,它还会产生额外的伪影。QRT 根据每张投影中射线源和探测器的实际位置进行重建,因此所有分层成像几何以及其他任意轨迹都能用同一算法处理。

扫描从未记录的方向,任何重建都无法测量。QRT 能从已记录的投影中获取最多的信息:它校正几何误差,避免焊料和铜产生条纹,并且不会产生欠采样伪影。

支持所有分层成像几何

倾斜旋转轴、探测器平移和机器人分层成像,以及任意自定义轨迹。

逐个投影的几何校正

机械臂和运动台的定位误差会在重建过程中自动校正。

更少的金属伪影

焊料、铜和引脚与周围的电路板在同一物理模型中重建。

直接读取扫描仪原始数据

QRT 可读取 Nikon、Waygate、Zeiss、Comet Yxlon、RX Solutions、Viscom 和 Techvalley 扫描仪的分层成像数据,自建系统可通过 Voxray 投影格式接入。

所扫描主板的照片

案例研究

主板的机器人 CT 分层成像

Omni NDE 使用其双机器人 CT 系统,以分层成像轨迹扫描了整块主板:30 µm 下共 17,689 张投影。QRT 校正了机械臂的定位误差,重建了整块电路板,从 CPU 插座到单个焊点。

阅读案例研究

关于分层成像的常见问题

CT 与分层成像有什么区别?

在 CT 中,零件绕垂直于 X 射线束的轴旋转。在分层成像中,旋转轴相对射束倾斜,或射线源和探测器平行于零件移动,因此射线以一定角度斜穿平板零件,而不是沿其平面传播。

计算机分层成像用于哪些场景?

用于 CT 难以扫描的平板零件或大型零件:已组装的印刷电路板、半导体封装、晶圆、航空领域的复合材料板,以及大型零件中的感兴趣区域。

为什么分层成像体数据在深度方向较模糊?

分层成像从不测量沿零件平面传播的射线。这一缺失的锥形方向范围会让深度方向的结构变模糊,而零件平面内保持清晰。减小倾斜角可以减弱这种效应,但射线会更贴近平板零件的平面传播,穿过更多材料。

分层成像比 CT 更快吗?

对于平板零件通常如此。每条射线只穿过零件的厚度而不是整个宽度,透过的光子更多,曝光时间可以更短;也不会把投影浪费在沿平面的射线上。具体快多少取决于零件和设备。

Voxray QRT 可以重建哪些分层成像数据?

QRT 支持倾斜旋转轴、探测器平移和机器人分层成像。它可读取 Nikon、Waygate、Zeiss、Comet Yxlon、RX Solutions、Viscom 和 Techvalley 扫描仪的分层成像原始数据,任意轨迹均可通过 Voxray 投影格式处理。

我可以用自己的分层成像扫描数据测试 QRT 吗?

可以。申请免费试用,在您自己的工作站上重建数据集;或选择重建服务,将数据集发送给我们,由我们为您重建。

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